受物理可能性的限制，不能利用光束直接发现粒径小于1微米的粒
子，已知市售光学计数器的最大灵敏度为0.06微米[12]。
　　为了发现小粒径粒子，可人为地放大粒子，放大的方法如
下：将超净空气送入充有液体蒸汽（丁醇、酒精等）的小室。空
气无尘车间中所含的微粒子就是蒸汽冷凝核。当粒子通过通道
时，蒸汽冷却而冷凝在粒子上，而形成粒径能被光学计数器发现
的，很小的水滴粒子。
　　然后，这些水滴落在受到激光光速照射的敏感装置上。这些
水滴产生的散射光便被光电管所捕集。，凝聚核粒子计数嚣的主
要难点在于保证粒子粒径与水滴粒径之间具有精确的相关性。为
此，要采用冷凝超饱和梯度形成法，在任何材料上都产生同样良
好冷凝的特殊液体（如丁醇）等。
　　洁净净化工程参数连续监测系统规定在重要场合应采用洁净
室参数连续监测（监控），首先是对粒子浓度、压差、风速和空
气的温湿度。此外，还要监测静申J电荷的数量。
　　这样就可以在完成工艺加工过程中实时监控受控参数，测量
和保存每批产品制造周期内的环境状态数据。
　　岔司的多支管式干管监控系统的组成如下：敏感装置；整理
敏感输出数据用的控制器；调度员和工程部门负责人的个人电脑
等，这些电脑用来接收和处理受控参数的数据。
　　粒子浓度监控器可以两种方式工作：
　　1)利用装设在每处取样点的粒子计数器。
　　此时在取样点处形成包含必要信息的电信号，并将其输入控
制器。恒温恒湿实验室。
　　2)以多支管式干管为基础进行监控，即把来自取样点的各支
管接至干管。再由干管通223上直径为-2微米的聚合物纤维交织实
例图象。
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